در حالی که تحریم های ایالات متحده شرکت های چینی را از دسترسی به مدرن ترین فن آوری های نیمه هادی محروم کرده است ، آخرین گزارش های مربوط به تلاش های چین برای ایجاد لیتوگرافی EUV (ماوراء بنفش سنگین) در این کشور با سازهای محلی گزارش شده است. گزارش ها شروع این دستگاه ها در سه ماهه سوم سال را در نظر می گیرند و ادعا می کنند که این دستگاه ها از روشی به نام القاء لیزر (LDP) استفاده می کنند.
روش LDP یک تعویض لیزر پلاسما (LPP) است که ASML هلندی از آن استفاده کرده و نوید طراحی ساده تر و کارآمدتری دارد. ASML در حال حاضر تنها تأمین کننده دستگاه های EUV در جهان است و فناوری LPP آن برای تولید تراشه های پیشرفته 5 نانومتر و کوچکتر ضروری خواهد بود. با توجه به محدودیت های تحمیل شده ، چین باید راه را برای این فناوری حیاتی هموار کند.
زومیت
براساس گزارش ها ، دستگاه های EUV چینی از LDP برای تولید یک پرتو 1.5 -ninnomoneter- طول مورد نیاز برای تولید تراشه های پیشرفته استفاده می کنند. این روش شامل تبخیر قلع بین الکترودها و تبدیل آن به پلاسما از طریق انتشار ولتاژ است. بر خلاف روش ASML LPP ، که از لیزرهای با راندمان بالا و سیستم های کنترل پیچیده مبتنی بر FPGA استفاده می کند ، روش LDP ادعا می کند که طراحی ساده تر از نظر اندازه کمتر و مصرف انرژی کمتری است.
با وجود وعده ها ، باید توجه داشت که تولید ماشین های EUV یک مشکل مهندسی بسیار پیچیده است. ASML سالها در مطالعه فناوری LPP گذرانده است. با این حال ، از نظر تئوری ، مزایای روش LDP هنوز نامشخص است و مطمئناً نمی توان گفت که ماشین های چینی مبتنی بر LDP می توانند به عملکرد ، ثبات و قابلیت اطمینان مشابه دستگاه های ASML دست یابند.
مقالات مرتبط
به عنوان مثال ، تولید تراشه های SMIC 2NM با استفاده از DUV (ماوراء بنفش عمیق) در حال حاضر گران تر از تولید TSMC با دستگاه های EUV است. این نشان می دهد که کارآیی و هزینه های تولید ملاحظات اساسی در صنعت است و می تواند به میزان قابل توجهی بر تجاری سازی آنها تأثیر بگذارد.
آخرین تلاش های چین برای تولید ماشین های EUV بیانگر حداکثر تلاش های آن برای استفاده از خود است. موفقیت می تواند وابستگی شرکت های چینی مانند SMIC و Huawei به فناوری خارجی را کاهش داده و رقابت خود را در بازار جهانی افزایش دهد. همچنین ، این پیشرفت می تواند به هواوی کمک کند تا فاصله فناوری خود را با شرکت هایی مانند Qualcomm و Apple در زمینه تولید تراشه های 5 نانومتری بیشتر کاهش دهد.
