فناوری EUV یکی از پیشرفته ترین روش ها برای تولید تراشه های مدرن با ابعاد زیر 7 نانومتر است. شرکت هلندی ASML سالهاست که انحصار جهانی در تولید ماشین آلات EUV دارد، اما از سال 2019. به دلیل تحریم های ایالات متحده از فروش تجهیزات پیشرفته EUV در چین منع شده است. محدودیت‌های ذکر شده در سال 2024 گسترش یافت و شامل ماسک‌های EUV، ماشین‌های اچ و سایر اجزای مرتبط با تولید تراشه پیشرفته شد.
اکنون دانشمندان چینی در تلاشند تا با استفاده از روش های جایگزین محدودیت های آمریکا را دور بزنند. یکی از مهمترین پیشرفت ها در تولید EUV با استفاده از روش LDP حاصل شده است. این روش نوآورانه نیاز به فناوری LPP را از بین می برد.
در فرآیند LDP، قلع با استفاده از لیزر تبخیر می‌شود و یک تخلیه ولتاژ بالا پلاسمایی تولید می‌کند که نور EUV را فراهم می‌کند. روش مذکور علاوه بر سادگی و راندمان بالا، از نظر هزینه و توان مصرفی نیز کارآمدتر است، هرچند همچنان چالش هایی در بهینه سازی توان خروجی آن وجود دارد.
به گزارش Fantastic Visionموسسه فناوری هاربین به رهبری پروفسور ژائو یونگ پنگبه دستاورد مهمی در تولید منبع نور EUV با استفاده از فناوری LDP دست یافت. این فناوری که با الزامات فوتولیتوگرافی سازگار است، برنده جایزه برتر مسابقه نوآوری استان هاربین شد.
در ژانویه 2024 (دن و باخمن 1402) موسسه فناوری هاربین با همکاری موسسه اپتیک و مکانیک شانگهای، قابلیت ها و سیستم کنترل نور EUV را بهبود بخشیده است. علاوه بر این، موسساتی مانند دانشگاه Tsinghua و موسسه تحقیقات اطلاعات فضایی منطقه خلیج گوانگدونگ بر بهینه‌سازی انرژی و منابع نور آینده تمرکز دارند.
مقالات مرتبط:
در سال 2023 تجهیزات میکرو الکترونیک شانگهای (SMEE) یک پتنت برای تولید ژنراتورهای تشعشع EUV به ثبت رساند. این اقدام نشان دهنده پیشرفت چین در توسعه تجهیزات لیتوگرافی است. با این حال، SMEE هنوز از رهبران جهانی مانند ASML عقب است و نمی تواند ماشین هایی برای تولید انبوه تراشه های زیر 28 نانومتر تولید کند.
صنعت نیمه هادی چین همچنان با موانع زیادی از جمله وابستگی به قطعات وارداتی و محدودیت های اعمال شده توسط ایالات متحده دست و پنجه نرم می کند. البته رویکرد چند جانبه چین که شامل نوآوری های تکنولوژیکی، همکاری های علمی و سرمایه گذاری استراتژیک است، عزم جدی این کشور را برای عبور از موانع و رسیدن به خودکفایی در تولید تراشه های پیشرفته نشان می دهد.
